对接深圳半导体与集成电路产业、显示产业发展需求,面向“后摩尔定律时代”对半导体器件的需求,研究先进半导体器件及其应用技术。研究内容包括小尺寸半导体器件、新型存储器件、光电器件、信息显示器件、MEMS器件、柔性器件、先进器件工艺加工技术等。
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